高频电火花穿孔机其基本物理原理是自由正离子和电子在场中积累，很快形成一个被电离的导电通道。在这个阶段，两板间形成电流。导致粒子间发生无数次碰撞，形成一个等离子区，并很快升高到8000到12000度的高温，在两导体表面瞬间熔化一些材料，同时，由于电极和电介液的汽化，形成一个气泡，并且它的压力规则上升直到非常高。然后电流中断，温度突然降低，引起气泡内向爆z，产生的动力把溶化的物质抛出弹坑，然后被腐蚀的材料在电介液中重新凝结成小的球体，并被电介液排走。然后通过NC控制的监测和管控，伺服机构执行，使这种放电现象均匀一致，从而达到加工物被加工，使之成为合乎要求之尺寸大小及形状精度的产品。
高频电火花穿孔机是一种机械加工设备，主用于电火花加工。它是利用浸在工作液中两级间脉冲放电时产生的电蚀作用除导电材料的特种加工方式，又称放电加工或电蚀加工。高频电火花穿孔机主要用于加工具有复杂形状的型孔和型腔的模具和零件；加工各种硬、脆材料；加工深细孔、异形孔、深槽、窄缝和切割薄片等；加工各种成形刀具、样板和螺纹环规等工具。
高频电火花穿孔机的加工间隙跟踪调整根本原则是为获得稳定的加工。稳定了之后，速度、光洁度就有。由于变频电路的自动控制范围很大，所以在一般情况下，面板上的变频调整所处的位置不是非常重要，放在哪儿都能加工。但某些特定的情况下切割效率和质量，跟变频高速有着重大的关系。
加工间隙跟踪调速的方法是：先选定脉宽、脉间，投入管子的个数，然后观察着脉冲源的电流表和电压表，变频速度的调整会使表的指示值在一定范围内变动，在电流较小的那一段范围，高频电火花穿孔机调整的随动会较灵敏，往快速方向调整会有一段比较迟钝，置于迟钝与灵敏的交界处是较为适宜的。
